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半导体物理实验教学论文
半导体物理实验教学论文 摘要:为适应新时期人才培养需要，在我校教学项目的支持下，对大四专业实验 课程半导体物理实验进行一系列的教学改革，旨在侧重于学生的实践动手能力、 创新能力和综合素质的培养和提高。通过两年的实践，教师和学生普遍感觉到新 实验教学体系的目的性、整体性和层次性都得到了极大的提高，教学内容和教学 方式的调整，使学生理论联系实际的能力得到增强，大大提高了学生的积极性和 主动性。关键词:半导体物理实验;教学改革;专业实验 实验教学作为高校教学环节中的一个重要组成部分，不仅因为其是课堂教 学的延伸，更由于通过实验教学，可以加深学生对理论知识的理解，培养学生的 动手能力，拓展学生的创造思维［1，2］。实验教学分为基础实验和专业实验两 部分［3，4］:基础实验面向全校学生，如大学物理实验、普通化学实验等，其 主要任务是巩固学生对所学基础知识和规律的理解，旨在提高学生的观察、分析 及解决问题的能力，提供知识储备［5，6］;与基础实验不同，专业实验仅面向 某一专业，是针对专业理论课程的具体学习要求设计的实验教学内容，对于学生 专业方向能力的提高具有极强的促进作用［7～8］。通过专业实验教学使学生能 够更好的理解、掌握和应用基础知识和专业知识，提高分析问题的能力并解决生 活中涉及专业的实际问题，为学生开展专业创新实践活动打下坚实的基础［9～ 11］。
1半导体物理实验课程存在的问题与困难 半导体物理实验是物理学专业电子材料与器件工程方向必修的一门专业 实验课，旨在培养学生对半导体材料和器件的制备及测试方法的实践操作能力， 其教学效果直接影响着后续研究生阶段的学习和毕业工作实践。通过对前几年本 专业毕业生的就业情况分析，发现该专业毕业生缺乏对领域内前沿技术的理解和 掌握。由于没有经过相关知识的实验训练，不少毕业生就业后再学习过程较长， 融入企事业单位较慢，因此提升空间受到限制。1．1教学内容简单陈旧。目前， 国内高校在半导体物理实验课程教学内容的设置上大同小异，基础性实验居多， 对于新能源、新型电子器件等领域的相关实验内容完全没有或涉及较少。某些高 校还利用虚拟实验来进行实验教学，其实验效果远不如学生实际动手操作。我校 的半导体物理实验原有教学内容主要参照上个世纪七、八十年代国家对半导体产 业人才培养的要求所设置，受技术、条件所限，主要以传统半导体物理的基础类实验为主，实验内容陈旧。但是在实验内容中添加新能源、新型电子器件等领域 的技术方法，对于增加学生对所学领域内最新前沿技术的了解，掌握现代技术中 半导体材料特性相关的实验手段和测试技术是极为重要的。1．2仪器设备严重匮 乏。半导体物理实验的教学目标是使学生熟练掌握半导体材料和器件的制备、基 本物理参数以及物理性质的测试原理和表征方法，为半导体材料与器件的开发设 计与研制奠定基础。随着科学技术的不断发展，专业实验的教学内容应随着专业 知识的更新及行业的发展及时调整，从而能更好的完成课程教学目标的要求，培 养新时代的人才。实验内容的调整和更新需要有新型的实验仪器设备做保障，但 我校原有实验教学仪器设备绝大部分生产于上个世纪六七十年代，在长期实验教 学过程中，不少仪器因无法修复的故障而处于待报废状态。由于仪器设备不能及 时更新，致使个别实验内容无法正常进行，可运行的仪器设备也因为年代久远， 实验误差大、重复性低，有时甚至会得到错误的实验结果，只能作学生“按部就 班”的基础实验，难以进行实验内容的调整，将新技术新方法应用于教学中。因 此，在改革之前半导体物理实验的实验设计以基础类实验为主，设计性、应用性、 综合性等提高类实验较少，且无法开展创新类实验。缺少自主设计、创新、协作 等实践能力的训练，不仅极大地降低学生对专业实验的兴趣，且不利于学生实践 和创新创业能力的培养，半导体物理实验课程的改革势在必行。
2半导体物理实验课程改革的内容与举措 半导体物理实验开设时间为本科大四秋季学期，该实验课与专业理论课半 导体物理学、半导体器件、薄膜物理学在同一学期进行。随着半导体技术日新月 异发展的今天，对半导体物理实验的教学内容也提出了新的要求，因此，要求这 门实验课程不仅能够通过对半导体材料某些重要参数和特性的观测，使学生掌握 半导体材料和器件的制备及基本物理参数与物理性质的测试方法，而且可以在铺 垫必备基础和实际操作技能的同时，拓展学生在电子材料与器件工程领域的科学 前沿知识，为将来独立开展产品的研制和科学研究打下坚实的基础。2．1实验基 础设施的建设。2013年年底，基于我校本科教学项目的资金支持，半导体物理实 验教学团队通过调研国内外高校现行半导体物理实验教学资料，结合我校实验教 学的自身特点，按照创新教育的要求重新设计了半导体物理实验内容，并根据所 开设实验教学内容合理配置相应的实验仪器设备，新配置仪器设备具有一定的前 瞻性，品质优良，数量合理，保证实验教学质量。由于作为一门专业实验课，每 学年只有一个学期承担教学任务，为了提高仪器设备的利用率，做到实验设备资 源的不浪费，计划成立一间半导体物理实验专属的实验室，用于陈放新购置的实 验设备，在没有教学任务的学期，该实验室做为科研实验室和创新创业实验室使用。通过近三年的建设，半导体物理实验专属实验室―――新能源材料与电子器 件工程创新实验室建成并投入使用，该实验室为电子材料与器件工程方向的本科 生毕业论文设计以及全院本科生的创新创业实验设计提供了基本保障，更为重要 的是该实验室的建成极大地改善了半导体物理实验的原有教学条件，解决了实际 困难，使得半导体物理实验教学效果显著提升。不仅加强了学生对专业核心知识 理解和掌握，而且启发学生综合运用所学知识创造性地解决实际问题，有效提高 学生的实践动手能力、创新能力和综合素质。2．2实验教学内容的更新。半导体 物理实验是一门72学时的实验课，在专属实验室建成后，按照重视基础、突出综 合、强调创新、提升能力的要求，逐步培养与提高学生的科学实验素质和创新能 力，构建了“九―八―五”新的实验内容体系，包括如下三个层次(表1)。第一层次 为“九”个基础型实验，涵盖对半导体材料的物理性质(结构、电学、光学)的测定， 通过对物理量的测量验证物理规律，训练学生观察、分析和研究半导体物理实验 现象的能力，掌握常用基本半导体物理实验仪器的原理、性能和测量方法等。第 二层次为“八”个提高型实验(综合、应用性实验)，学生通过第一层次的实验训练 后，已掌握了基本的实验方法和技能，在此基础上，开展综合性实验，可以培养 学生综合运用所学知识以及分析和解决问题的能力。通过应用性实验培养学生将 来利用设备原理从事生产或者技术服务的能力。第三层次为“五”个设计创新型实 验，学生需运用多学科知识、综合多学科内容，结合教师的科研项目进行创新研 究，通过设计型实验可以锻炼学生组织和自主实验的能力，着力培养学生创新实 践能力和基本的科研素质。每个基础型实验4学时，提高型实验8学时，创新型实 验12学时，规定基础型为必修实验，提高型、创新型为选作实验。九个基础型实 验全部完成后，学生可根据兴趣和毕业设计要求在提高型、创新型实验中各分别 选做一定数量的实验，在开课学期结束时完成至少72个学时的实验并获得成绩方 为合格。2．3实验教学方式的优化。在教学方式上，建立以学生为中心、学生自 我训练为主的教学模式，充分调动学生的主观能动性。将之前老师实验前的讲解 转变为学生代表讲解实验内容，然后老师提问并补充完善，在整个实验安排过程 中，实验内容由浅入深、由简单到综合、逐步过渡至设计和研究创新型实验。三 个层次的实验内容形成连贯的实验梯度教学体系，在充分激发学生学习兴趣的同 时，培养学生自主学习、自发解决问题的能力。2．4实验考核机制的改革。目前 大部分实验课的成绩由每次实验后的“实验报告”的平均成绩决定，然而单独一份 实验报告并不能够完整反应学生的实际动手操作能力和对实验内容的熟悉程度。
因此，本课程将此改革为总成绩由每次“实验”的平均成绩决定。每次实验成绩包 括实验预习、实验操作和实验报告三部分，实验开始前通过问答以及学生讲解实 验内容来给出实验预习成绩;实验操作成绩是个团队成绩反映每组实验学生在实验过程中的动手能力以及组员之间的相互协助情况;针对提高型和创新性实验， 特别是创新性实验，要求以科技论文的形式来撰写实验报告，以此来锻炼本科生 的科技论文写作能力。通过三部分综合来给出的实验成绩更注重对知识的掌握、 能力的提高和综合素质的培养等方面的考核。
3半导体物理实验课程改革后的成效 半导体物理实验在我校本科教学项目的支持下，购置并更新了实验设备建 立了专属实验室，构建了“九―八―五”新实验内容体系，并采用新的教学方式和 考核机制，教师和学生普遍感觉到新实验教学体系的目的性、整体性和层次性都 得到了极大的提高。教学内容和教学方式的调整，使学生理论联系实际的能力得 到增强，提高了学生的积极性和主动性。实验中学生实际动手的机会增多，对知 识的渴求程度明显加强，为了更好地完成创新设计实验，部分本科生还会主动去 查阅研中英文科技文献，真正做到了自主自觉的学习。通过实验课程的教学，学 生掌握了科技论文的基本格式，数据处理的图表制作，了解了科学研究的过程， 具备了基本的科研能力，也为学生的毕业设计打下了良好的基础。与此同时，利 用新购置的实验设备建立的实验室，在做为科研实验室和创新创业实验室使用时， 也取得了优异的成绩。依托本实验室，2015年“国家级大学生创新创业训练计划” 立项3项，2016年“国家级大学生创新创业训练计划”立项4项。
4结语 专业实验作为学生继续攻读研究生和进入社会就业前的重要实践和创新 能力训练，对提高学生的创新、实践能力有着非常重要的作用，因此专业实验的 教学内容应随着专业知识的更新及行业的发展及时调整，做到与科研紧密衔接， 为学生研究生阶段的学习打下坚实的基础;做到与企业零距离接轨，提高毕业生 的实践能力。
作者:盛英卓 苏 庆 张振兴 潘孝军 王 琦 兰 伟 谢二庆 单位:兰州大学
